HORIBA 可以为所有客户提供混合气体。混合气体用途多样，例如用于评估气体传感器或测试金属腐蚀情况。在气体传感器或金属材料的研发中，对传感器或金属进行专项质量评估至关重要。在测试工艺过程中控制气体的湿度平衡相当困难，但是可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度：气体 MFC（SEC-Z512MGX）、液体 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。
HORIBA 为您的研究提供所需支持。
高响应压力非敏感质量流量器
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
排气压力控制器
热式气体分流器
晶圆背面冷却系统
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
数字式液体质量流量计
压差式质量流量控制器