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光纤

等离子体气体控制在光纤制造工艺中起着至关重要的作用。HORIBA 为准确和重复控制气体流量提供流量测量和控制技术。光纤制造商在生产预制棒时可使用鼓泡系统或热箱输送三氯氧磷(POCl3)、四氯化硅(SiCl4)和四氯化锗(GeCl4)。能否对汽化过程进行准确和可重复控制取决于起泡器/热箱的准确操作和载气的严格控制。

HORIBA 旗舰产品 SEC-Z500X 系列可以控制高达 500slm 的流量,与 SEC-8000 系列高温 MFC 结合使用,是对关键工艺气体进行准确流量控制的成熟解决方案。

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