UR-Z700 系列

Digital Automatic Pressure Regulator UR-Z700

数字式自动压力调节器

UR-Z700 系列高性能自动压力调节器配备电子调节器,带有高精度压力传感器和高分辨率、快速响应的压电阀。根据接收到的外部控制信号控制压力。支持数字/模拟和 DeviceNet™ 通讯模式。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

优点: 

  • 消除大流量气路切换引起的串扰影响
  • 快速响应:0.5 秒内
  • 灵活的设计:调节器可以安装在任何位置,由于使用电信号进行控制,适用于各种气体供应系统
  • 入口控制型(-B 型)和出口控制型产品系列
  • 在表压型或绝对压力型之间进行选择
  • 符合 RoHS 标准(UR-Z704 系列)
  • 超洁净:全金属结构(M 型)

 

外形尺寸

Dimension of Digital Automatic Pressure Regulator UR-Z700 series

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量

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