![Photovoltaic Manufacturing Process 光伏制造过程的过程控制与现场测量](http://static.horiba.com/fileadmin/Horiba/_processed_/8/1/csm_Process_Conrtol_and_In-situ_Measurement_for_Photovoltaic_Manufacturing_Process_a3ea5b38c2.jpg)
外形尺寸
多量程/多气体数字质量流量控制器
这是 HORIBA 最畅销的数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能,用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。
该质量流量控制器具有高精度(+/- 1.0% 设定点)、压电阀、高速响应和全金属特性,可提高制程良率,简化零件管理。支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Setting Units