En general, una medición de un solo ángulo es suficiente para la mayoría de las aplicaciones. Si tus muestras son ultra finas, el ángulo que elijas para medir debe estar cerca del ángulo de Brewster del sustrato para obtener la mayor sensibilidad. En general, sin embargo, un ángulo de incidencia de 70° (cercano al ángulo de Brewster del silicio) es suficiente para la mayoría de las demás aplicaciones, independientemente del ángulo de Brewster del sustrato.
Generalmente, tomar mediciones en un solo ángulo de incidencia es suficiente para la mayoría de las aplicaciones. Sin embargo, si la muestra es compleja (multicapa, graduada, no uniforme o muy gruesa), se recomienda tomar datos en 2 o 3 ángulos de incidencia diferentes para maximizar la cantidad de datos y reducir las correlaciones de parámetros y ayudar a determinar incógnitas como grosores, propiedades ópticas, gradación, no uniformidad, etc.
Liquid cell on sample holder
Sí, la elipsometría puede usarse para medir ambas muestras colocadas en líquido o en una interfaz sólido/líquido. Ofrecemos varios accesorios para medir líquidos que ayudan con este tipo de medición.
Las retroreflexiones pueden tratarse tanto mecánicamente antes de la medición como matemáticamente después de la medición. Para eliminar o bloquear mecánicamente las reflexiones traseras, puedes probar pasos como rugar la parte trasera de la muestra, usar una máscara para bloquear el haz reflejado por el lado trasero, o cambiar a un tamaño de haz menor para separar mejor los haces reflectidos delantero y trasero, recogiendo así solo el haz reflejado frontal.
If you are not able to mechanically remove or block the back reflections, they may be included in the measurement, but they then need to be taken into account when modeling the sample after measurement. The HORIBA DeltaPsi 2 software allows for the easy incorporation of back reflections for simple modeling.
Sí, si tienes un goniómetro manual o automático que puede alcanzar los 90°, puedes usar el elipsómetro para medir tanto la transmisión en incidencia normal como la reflectancia en ángulo oblicuo. Si tienes un sistema de ángulo fijo, podrás realizar mediciones de reflectancia en ese ángulo, pero será necesario usar el accesorio de transmisión para obtener mediciones de transmisión.
Si te interesa medir la reflectancia a una incidencia casi normal, también ofrecemos un accesorio para el Módulo de Reflectometría que te permitirá hacerlo.
Sí, puedes recoger datos de reflectancia en un ángulo (normalmente entre 45 y 75 grados), pero no a una incidencia cercana a lo normal. Sin embargo, con el Módulo de Reflectometría podrás medir la reflectancia de incidencia casi normal.
Example of 3D mapping measurement
Sí. Para realizar el mapeo, necesitarás una etapa automática de traducción XY. El software DeltaPsi 2 puede proporcionar mapas tanto 2D como 3D de los espesores y propiedades ópticas resultantes.
Ofrecemos muchos accesorios que permiten diferentes tipos de medidas. Algunos ejemplos incluyen:
