La luz FUV es absorbida por el aire por debajo de 180 nm. Purgar un monocromador con un gas (casi siempre nitrógeno) evacuará todo el aire contenido en su interior y permitirá trabajar hasta 160 nm, incluso 140 nm si se realiza una desgasificación por horneado.
El vacío es necesario para la espectroscopía VUV si necesitas trabajar por debajo de unos 120 nm; de lo contrario, la luz FUV se absorbe. El nivel de vacío puede ser HV (alto vacío, de 10-3 mbar a unos 10-8 mbar) o UHV (ultra alto vacío, de 10-9mbar a 10-10 mbar). Estos dos niveles de vacío corresponden a dos tecnologías diferentes: para la versión HV, el sellado se realiza con juntas Viton, mientras que para la versión UHV se necesitan juntas de cobre. Además, los procesos de diseño y fabricación de los sistemas UHV requieren una atención muy específica. Por ejemplo, en UHV, se debe usar fuelles metálicos o un paso específico para transmitir un movimiento desde el exterior hacia el interior de la cámara. Esto implica que se necesiten diseños mecánicos completamente diferentes entre los sistemas HV y los sistemas UHV, y hace que las soluciones UHV sean más caras.
La mayoría de las veces, la elección entre la versión HV o UHV depende de la aplicación y de la configuración en la que se conectará el sistema VUV. Un monocromador dedicado a montarse en una línea de haz de sincrotrón o en cámaras donde se producen electrones, suele ser la versión UHV.