CS-100 Series

CS-137

独立式化学药液浓度计

CS-100 系列为半导体制程各种清洗和刻蚀工艺的药液提供完整的、高精度的化学药液浓度计。除高速响应和紧凑设计等特点外,浓度计还可实时测量每种组分的浓度,通过报警提醒化学药液变化和自动供应的时间。具备执行短周期测量的能力,可准确检测浓度变化。

可测量化学药液示例

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • 实时跟进浓度信息
  • 全自动测量
  • 顺序测量期间采取综合措施消除气泡影响
  • 采用 24V 直流电源,具有更高的安全保障
  • 重量轻,设计紧凑
  • 更高的产能
  • 符合 RoHS 标准

Model name

CS-100
Measurement principleAbsorption spectroscopic method
Sample temperature20 to 30 Degree C
Ambient temperature20 to 25 Degree C
ComponentsMax. 4 components
Chemical rangeMax. 4 ranges
CommunicationParallel I/O, Analog output, RS-232C
Analog output
(4-20 mA)
Max. 2 components
Dimension205(W) X 329(D) X 269(H)mm
Power sourceDC 24V
Consumable partsHalogen lamp
WavelengthUV/NIR
Wetted materialPTFE, PFA, Sapphire or Quartz

Schematics

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