HF-960M

Low Concentration Type HF/HCl/NH3 Concentration Monitor HF-960M

低浓度型 HF/HCl/NH3 浓度计

HF-960M 采用的传感器具有出色的耐腐蚀性,可对低浓度的氟化氢、氯化氢和氨气进行高精度、高速测量,因此是单槽清洗和晶圆清洗的理想选择。HF-960M 也是一款环保产品,使用无铅焊料将芯片嵌入印刷电路板。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • 低浓度 HF 的准确测量
  • 5 种可用的测量模式
    HF、HCl 和 NH3 浓度、电导率和温度
  • 模拟输出范围可以根据浓度测量范围任意设置
  • HF-960M 提供 7 个输出点
  • 3 通道传输输出
  • 符合 RoHS 标准
  • 24V 直流电源
  • 符合 CE 认证标准

Product name

Low Concentration Type HF / HCl / NH3 Concentration Monitor

Model

HF-960M

Measurement rangeHF: 0 - 5000 ppm, HCl: 0 - 5000 ppm, NH3: 0 - 10000 ppm, Conductivity:0 - 50.0 mS/cm

Power supply

Rated voltage 24 V DC, 10 W (max)

Structure

Iindoor-use, panel installation type, panel case : ABS, terminal : PBT, Panel : IP65 dust and water proof structure

External dimensions

96 (W) x 96 (H) x 115 (D) mm, Case depth : approx.105 (when panel-mounted)

Weight

Approx. 550 g

Conforming standards

CE marking, FCC Part15

Compatible sensors

FS-10F series flow-type sensor

Schematics

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