HF-960EM

In-line Sensor & Auto Range Switching Concentration Monitor HF-960EM

在线传感器和自动测量范围切换浓度计

测量从低浓度到未稀释原液的各种 HF 浓度范围。HF-960EM 通过自动校正测量范围切换功能实现高精度测量。同时还具备清洁所有 PFA 传感器的能力。测量范围:0 - 50%。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • 从低浓度到未稀释原液的宽测量范围。量程:0 - 50%
  • 通过自动校正测量范围切换功能实现高精度测量
  • 全部使用PFA传感器,适用于半导体制程
  • 符合 RoHS 标准

Specifications of HF-960EM
Model nameHF-960EM
Measurement rangeHF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, Conductivity: 0 - 2000 mS/cm
Repeatability+/- 0.5% F.S. (in equivalent input)
Linearity+/- 0.5% F.S. (in equivalent input)
Transmission outputNumber of output: 4
Contact outputOutputs: 5 points
Contact inputInputs: 2 points
Communication outputRS-485
Power supplyDC 24 V +/- 10% 15W
Compatible sensorCM-520 Series
Wetted material of sensorPFA

Schematics

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