CS-620F

光纤型高温磷酸浓度计

关键词:3D NAND、SiN(氮化硅)、刻蚀、高温磷酸,

在 3D NAND 制程中,沉积几十层二氧化硅和氮化硅,并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。
在该制程中,通过控制化学药液的浓度和温度,可以获得期望的刻蚀速率。
成熟型号很难测量高温化学药液,但 CS-620F 能够在高达 170℃ 的高温下进行测量。
使用吸收光谱进行连续测量,与其他方法相比,需要的维护和耗材更少。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

主要特征

可测量高达 92% 的高浓度磷酸

无需冷却机制和冷却时间。
无需冷却循环管路中的高温磷酸(140 至 170℃),可直接测量。

样品使用PFA接触,以降低污染风险

采用每半年一次的背景校正周期,有助于显著减少机台停机时间

每3秒更新一次测量数据,有助于更快速使用浓度反馈进行控制

稳定性

▶  测量结果
样品(实际药液)测量 1 小时,展示出良好的稳定性。

▶ 测量条件
测量周期:每3秒   测量时间:1 小时   移动平均数:16 次
样品浓度(初始样品浓度)H3PO4:92.2% H2O: 7.8%   样品温度:141°C

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Product nameCHEMICAL SOLUTION MONITOR
ModelCS-620F
Measurement principleAbsorption spectroscopic method
Calculation principleTemperature compensation type multivariate analysis
SampleH3PO4/H2O

Measurable range
Repeatability

 ComponentMeasurable range
(mass%)
Repeatability
(mass%)
Analog output
range(mass%)
1st solutionH3PO485.00-92.00+/-0.1085.00-100.00
H2O8.0-15.0+/-0.30.0-15.0
・ Repeatability is defined by maximum error from average (1 hour).
・ In the case of low temperature measurement (140°C) and high temperature measurement (170°C) with the same chemical,
there is possibility of discrepancy (Maximum +/- 0.30%).
Conditions
of Measurement
1) Measurement interval: Approx. 3 sec. (minimum)
2) Moving average: 16 times
Connection fitting size1 inch or 3/4 inch
Sample conditionSample temperature: 140 to 170°C
Atmospheric temperature, Chemical temperature fluctuation: within +/- 1°C (period of time : 1 hour)
Input pressure: 0.2 MPa or less
Pressure fluctuation: 0.02 MPa or less
Flow rate: 1 to 30 L/min
Air(for operation and purge)Connection port: 4 mm O.D. quick joint
Pressure: 0.2 MPa ± 0.02 MPa
Power source100 to 230 V AC (Single-Phase), 50/60 Hz
Power consumptionApprox.85 VA (Transient electric current at the time of the start is excluded)
CommunicationParallel I/O, RS-232C, Analog output
Dimension(Monitor) 200 (W) × 308 (D) × 78 (H) mm
(Lamp unit) 200 (W) × 262 (D) × 100 (H) mm
(Sample cell) 240 (W) × 209 (D) × 205 (H) mm
Weight(Monitor) Approx.3.6 kg
(Lamp unit) Approx.2.8 kg
(Sample cell) Approx.3.0 kg
Ambient temperature(Monitor, Lamp unit) 20 to 30°C
(Optical fiber, Sample cell) 20 to 100°C
* Sudden temperature change should be avoided, within +/- 1°C/1hour
Ambient humidity(Monitor, Lamp unit) 40 to 70% (Should be no dew condensation)
Slanting angle of installation(Monitor, Lamp unit) Within +/-1 degree
(Sample cell) Please install so that air bubbles do not stay up.
Optical fiberLength: 5 m, Bend radius: R150 mm

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