低浓度H2SO4/H2O2浓度计 HF-700A

F-700

HF-700A可以稳定测量稀释的H2SO4和H2O2中,ppm 量级的HF浓度,以实现连续测量,并在刻蚀制程后对聚合物残留物的去除进行有效的制程管理。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • 稳定,连续的测量
  • 多种测量模式满足应用需求
    标准模式/试剂节省模式/连续测量模式/间歇测量模式
  • 易校准(通过信号发送)
  • 电极易更换

Model nameHF-700A
Measurement methodFluoride ion electrode method
Measurement range0 - 1000mg/L (0 - 100/200/500/1000mg/L)
RepeatabilityWithin +/- 2% of the full scale
StabilityWithin +/- 2% of the full scale/10 min.

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