CS-900

CS-900

非接触式化学药液浓度计

下一代湿法制程。HORIBA 提供提升产能的化学药液浓度管理设备,以帮助改进制程。

为达到半导体湿法制程中所需的严格化学药液浓度控制,HORIBA 通过设计紧凑设备,以及通过其原有传感器设计保持稳定测量和确保操作人员安全,实现更强大功能以满足需求。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

全部无接触,高度稳定

从外部将传感器直接连接到 PFA 管路,实现零污染。这消除了在安装传感器时进行管路施工的要求,从而减少化学事故。此外,通过升级光学系统,设备变得更加紧凑,同时保留 CS-600F*1 的原始规格。

高质量、稳定测量

  • 零污染
  • 配备温度补偿功能,实现稳定测量
  • 配备 HORIBA 原始算法,补偿气泡影响
  • 重复性和稳定性与常规的 CS-600*1 相同

 

抑制振动效应

  • HORIBA 采用抗错位强的光学系统结构,与 HORIBA 的原始管路结构协同配合。

 

节省空间

  • 光源和光学传感器已集成至样品单元。

  • 平板显示器(9.6cm x 9.6cm)

光源寿命更长

  • 使用 LED 灯,延长使用寿命(5 年质保期)

提高工作安全性

  • 每半年一次的背景校正补偿周期

  • 安装产品时无需安装管路,有助于减少化学药液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纤型化学药液浓度计。

不使用光纤的光学设计和主机,加上传感器的缩小提升了安装的自由度

对于宽温度范围(20℃ 至 80℃)的化学药液,可进行直接、稳定的测量

稳定性

测量条件
测量频率:每 3 秒
移动平均数:16 次
温度:室温
管径:3/4 英寸

初始样品浓度
NH3 : 0.95%    H2O2 : 5.15%    H2O: 93.9%

测量结果
样品(实际液体)测量 1 小时,展示出良好的稳定性。

易于装卸

Model nameNon-contact type chemical concentration monitor
ModelCS-900
Measurement methodAbsorption spectroscopy
Concentration calculationTemperature compensated multivariate analysis
Measurement range/
Repeatability (mass%)

Model name

ComponentMeasurable rangeRepeatabilityAnalog output range
CS-900-1P-1P25P5NH30.00%-1.20%±0.05%0.00-10.00
H2O20.00%-5.50%±0.10%0.00-10.00
H2O93.3%-100.0%±1.0%

-

CS-900-1P-P8P8

NH30.20%-0.80%±0.03%0.00-1.00
H2O20.20%-0.80%±0.03%0.00-1.00
H2O98.4%-99.6%±0.3%

-

Conditions of measurement

1) Measurement Frequency: every 3 seconds
2) Moving average : 16 times

Tube

PFA tube 1inch or 3/4inch (Do NOT use anti-static type PFA tube)

Sample condition*1

Sample temperture : 20 to 80°C
Sample temperture, Atmospheric temperture fluctuation :
±1 degree C (period of time: 1 hour)
Sample pressure : Less than 0.2 MPa (G)
Sample pressure fluctuation : Within 0.02 MPa

Power source

DC 24V

Power consumption

Apporox. 30W (Transient electric current at the time of start is excluded)
WeightDisplay unit : Apporox. 0.9kg
Sensor unit: Apporox. 2.9kg
Dimension (WxDxH)Display unit : 96x135x96mm
Sensor unit: 238x135x190mm
Slanting angleSensor unit:
Vertical direction within ±3 degree
Lateral direction 0 to 90 degree
Light source5years
communicationParallel I/O, RS-232C, Analog output

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如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

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