CS-1000 化学药液浓度计系列

化学药液浓度计系列

对 BEOL 中含有低浓度成分的多组分化学溶液进行浓度管理。^*1

可在无需任何预处理的情况下检测化学溶液中 ppm级别^*2的低浓度组分。只需将集成在独立机柜中的一体化系统安装在生产现场即可开始使用^*3。

*1 "back end of line"的缩写，指半导体前端工艺中的布线制程。
*2 表示百万分之一的比率概念。对于液体成分，1kg液体中含有1mg目标成分。
*3 通过SEMI S2 认证.

事业部: 半导体

制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

检测ppm级的低浓度组分
通过提高光谱仪的性能（扩大波长范围并增强分辨率）并结合 pH 计和电导率计的信号，现在可以检测 ppm 级的低浓度成分。

同时测量两种不同的化学药液
本设备配备两条独立的样品流路。通过完全隔离流路，实现两种不同化学药液的同时测量。

每六个月维护 4 小时
维护仅需更换灯泡及pH计的内部药液和校准液瓶。

产品名称	化学药液浓度计系列
型号	CS-1000
测量项目	化学药液浓度、电导率、pH
测量原理	吸收光谱法、双电极法、玻璃电极
目标化学品	用于半导体制造工艺的多组分化学药液（详情请联系我们）
尺寸	700 (W) × 610 (D) × 1640 (H) mm （不含突出部）
重量	约 200kg
接触药液的材料	机柜 (PFA, PTFE) 吸光度检测仪(PFA, PTFE, Quartz, Kalrez™) 电导率计(PFA, Carbon, Kalrez™) pH 计 - 排放使用(PVC, PTFE, Glass, ETFE, PEEK, Olefinic resin, THV, PFA, Kalrez™, PharMed BPT) ※Karlez™ 是 DuPont de Nemours, Inc. 的商标。
符合标准	CE , KC , FCC Rules Part15 , UKCA , SEMI S2

环境温度	20 至 30 摄氏度（±0.5 摄氏度/1 小时内，避免突然温度变化）
环境湿度	40 至 70% 相对湿度（应无结露）
电源	交流 190～240V (单相）、50/60Hz
功耗	约 355VA（不含启动瞬时电流）
通信协议	模拟输出：硬接线 4-20mA, 串行： RS-485_Modbus RTU, 平行 IO（参见附件） ※ 当测量值未更新（例如监视器错误）时，信号输出固定为 1.5mA。

耗材	由客户或 HORIBA 服务工程师更换的零件。卤素灯（额定寿命：约 1 年）氘灯（额定寿命：约半年）试剂： pH4, pH7, KCl 3.33moL AgCl 饱和溶液（更换周期：约半年）

CS-1000