Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
デジタルオートプレッシャレギュレータ
高精度圧力センサ、高分解能・高速応答のピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。
オールメタル構造(接ガス部)、デッドボリュームフリーの構造を採用し、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等の安定した圧力制御が行えます。外部信号による遠隔操作が可能で、総合的な性能評価を必要とするガスセンサーや耐圧評価システム等の総合的なガスの制御を必要とするシステムへの搭載に最適です。
変換アダプタ
表示ユニット
専用電源
モニタユニット
制御ユニット
多機能制御ユニット
信号ケーブル
設定ユニット