Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
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デジタルマスフローコントローラ
ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。
±1.0%S.P. の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジを実現しています。通信方法はデジタル/アナログ、DeviceNet™, EtherCAT®通信から選択可能。先端プロセスのみならず、様々な製造プロセスに最適なマスフローコントローラです。
変換アダプタ
表示ユニット
マスフローチェッカ
専用電源
モニタユニット
制御ユニット
多機能制御ユニット
信号ケーブル
設定ユニット