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压力控制

HORIBA 压力控制产品用于监控、调节或控制供气管路内的压力。

产品类型主要包括高性能数字压力传感器和压电阀,有助于消除因大流量管路切换引起的串扰影响。

HORIBA 晶圆冷却系统使用氦气减少热损伤,同时我们的排气压力控制器将腔室中的压力保持在稳定的水平。

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