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薄膜生长监控

生产工艺正发展迅速,具体反映在对各种薄膜和复杂多层结构的精细评估和分析的需求不断增长。HORIBA 系统能够测量薄膜特性,包括复杂和多层薄膜以及超薄二氧化硅膜的应力、厚度和光学常数。

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