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液体源汽化系统

HORIBA 是高性能汽化器的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程,可以安全有效地将液体以气体形态输送至使用点。无论液体是需要在真空下还是常压下汽化,HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化器。HORIBA 积累了 30 余年的汽化技术,分为直接注入、混合注入、鼓泡和烘烤汽化技术。

HORIBA 的液体源汽化器可以稳定有效地汽化液体物料。我们的汽化器还可以连接到 HORIBA 的自动供液系统,将汽化后的气体安全、连续地输送到使用点。由于液体储罐可在不中断制造过程的情况下更换,所以不会出现停机问题。

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