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薄膜分析

薄膜表征在新材料的研发阶段很重要,有助于有效的缩短新产品的上市时间,同时薄膜分析在计量步骤中也很重要,这是提高生产线成品率以减少晶圆间差异所必需的。作为从深紫外到 XRF 的光谱学领域的制造商,HORIBA 提供一系列专业的高端材料和薄膜分析工具,可用于研发、在线应用或集成到制程处理室中。

主要优点:

  • 单传感器或多传感器平台
  • 适用于 4 英寸、6 英寸、8 英寸和 12 英寸晶圆
  • 快速测量
  • 模块化且易于定制的 OEM 集成
  • 全球应用支持。

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