Auto SE

Elplipsómetro espectroscópico para medición simple de películas delgadas

El Auto SE es una nueva herramienta de medición de película fina que permite el análisis automático completo de muestras de película fina con un simple funcionamiento por botón.

El análisis de muestras dura solo unos segundos y proporciona un informe completo que describe completamente la pila de películas finas, incluyendo grosores de películas, constantes ópticas, rugosidad superficial e inhomogeneidades de la película.

El Auto SE es un instrumento muy destacado que incluye una etapa XYZ automática, imágenes en tiempo real del lugar de medición y selección automática del tamaño del punto. Hay muchos accesorios disponibles para una amplia variedad de aplicaciones.

El Auto SE incluye indicadores de diagnóstico integrados para la detección y diagnóstico automático de problemas, con una guía completa para el operador para la resolución de problemas.

El Auto SE destaca por su facilidad de uso y numerosas funciones automáticas que hicieron del Auto SE un instrumento llave en mano ideal para la medición rutinaria de películas finas y el control de calidad del dispositivo.

Segment: Científico

Division: Elipsometría Espectroscópica

Empresa de Fabricación:HORIBA France SAS

El análisis de película fina facilitado con rutinas automáticas
Sistema de gran calidad
Visión de muestra
Microspot reducido a 25x60 μm
Gran variedad de accesorios

Rango espectral: 440-1000 nm
Tamaños de puntos: selección automática 500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
Detección: CCD – Resolución: 2nm
Etapa de muestra: mandrillas de vacío, altura Z 40 mm
Ejemplo de visualización: cámara CCD - Campo de visión: 1,33x1 mm – Resolución: 10μm
Goniómetro: Fijado a 70° - Posible ajuste a 66° y 61,5°
Numerosos accesorios
Tiempo de medición: <2s, típico 5s
Precisión: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002
Repetibilidad: NIST 15nm ± 0,2 Å

Caracterización de dispositivos de película delgada LED mediante elipsometría espectroscópica

Impulsado por aplicaciones como televisores retroiluminados por LED y la iluminación de estado sólido, el mercado global de LEDs está creciendo rápidamente. Los principales retos para la iluminación LED general incluyen reducir los costes de producción y aumentar la eficiencia y la vida útil. El rendimiento de un LED, caracterizado por su eficiencia en el conector de pared depende del diseño y de las propiedades generales del material de la estructura de película fina LED. La elipsometría puede utilizarse para la determinación precisa del grosor y las constantes ópticas del dispositivo LED tanto para aplicaciones de investigación como industriales. El control preciso del espesor y el índice de refracción es vital para la optimización de las propiedades del dispositivo y para el control de calidad industrial.

Caracterización de diodos emisores de luz orgánicos (OLED) mediante elipsometría espectroscópica

La tecnología OLED está desempeñando un papel importante en la tecnología de pantallas, ya que ofrece varias ventajas en comparación con la tecnología LCD, entre ellas su eficiencia y alta calidad de pantalla, alta tasa de contraste, menor consumo energético, etc. Además, esta tecnología tiene un aspecto ecológico al utilizar materiales orgánicos reciclables. Sin embargo, la mejora del rendimiento de los dispositivos producidos por estas tecnologías requiere un conocimiento preciso de sus propiedades ópticas y estructurales que podría proporcionarse mediante la elipsometría espectroscópica. Esta técnica óptica no destructiva y sensible es capaz de caracterizar capas con grosores de algunos angstroms y proporciona información sobre el estado de la superficie, la microestructura de materiales compuestos, etc.

Caracterización óptica de semiconductores orgánicos mediante elipsometría espectroscópica

Los elipsómetros espectroscópicos son herramientas ópticas de medición de películas delgadas para determinar el grosor de la película y las constantes ópticas (n,k) de estructuras de películas delgadas. Se utilizan ampliamente en las industrias de microelectrónica, pantallas, fotónica, fotovoltaica, iluminación, recubrimientos ópticos y funcionales, y biotecnología. En comparación con otros instrumentos de metrología óptica, la fuerza única de los elipsómetros espectroscópicos se basa en sus mediciones experimentales altamente precisas y simples, además de información física y material derivada de la caracterización de constantes ópticas.

Elisometría espectroscópica de semiconductores compuestos: AlxGa1-xN / GaN heteroestructuras

La elipsometría espectroscópica de modulación de cristales líquidos es una técnica excelente para la caracterización altamente precisa de la heteroestructura semiconductora compuesta AlGaN / GaN. Utilizando el elipsómetro espectroscópico MM-16, es un procedimiento sencillo determinar el grosor de la película y las dispersiones ópticas de toda la estructura incluso cuando la película tiene varios micras de grosor. El conocimiento detallado de los parámetros ópticos de aleaciones de AlGaN es crucial, por ejemplo, para el diseño de dispositivos optoelectrónicos. Además, a partir de los parámetros ópticos se podía construir una curva de calibración para proporcionar una determinación rápida y eficiente del contenido de Al en las capas de AlGaN. Así, la elipsometría espectroscópica también demuestra ser una técnica no destructiva para la determinación de la composición de aleaciones de AlGaN. Este método puede aplicarse igualmente a otros emiconductores compuestos como SiGe, semiconductores II-VI o semiconductores clásicos III-V.

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