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Visión general de la tecnología de modulación de fase
Capacidades de medición flexibles
El software DeltaPsi2 ofrece capacidades de medición flexibles, incluyendo:
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El rendimiento completo del análisis elipsométrico
El software DeltaPsi2 incluye una gran variedad de funciones avanzadas de modelado para proporcionar la versatilidad y el rendimiento necesarios para una amplia gama de aplicaciones.
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Para aprovechar las funciones avanzadas de modelado, se han diseñado numerosas funciones de modelado para proporcionar el proceso de modelado más preciso, probando toda la gama de soluciones para encontrar el mejor modelo.
Procesa tus resultados con una flexibilidad y funcionalidad inigualablesEl software DeltaPsi2 ofrece funciones avanzadas para procesar datos elipsométricos de forma sencilla y fiable.
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Operaciones Fáciles de Usar
Se diseñan tres modos de usuario para investigación, fábrica y control de calidad para ofrecer operaciones fáciles de usar.
- El modo de investigación utiliza principalmente la función de arrastrar y soltar desde el lado izquierdo de la vista del árbol hasta el lado derecho del área de modelado.
- El modo fab proporciona un entorno operativo totalmente automático basado en recetas automáticas de botones que automatizan completamente la secuencia de análisis: adquisición + modelado + mapeo + resultados.
- El modo de control de calidad, que es el nuevo paquete de software Auto Soft, está diseñado para facilitar las operaciones de análisis elipsométrico.
Recetas automáticas simples
Una receta automatiza completamente la adquisición de datos+modelado+mapeo+resultados, lo que facilita el análisis rutinario de películas finas.
El diseño del software permite al usuario definir varias rutinas y modelos de adquisición en una sola receta, así como varios grupos de puntos en una sola cuadrícula.
- Procedimiento de receta.
- Procedimiento de ajuste.
- Criterios de aceptación para el control de calidad integrado.
- Acceso cómodo a pasos de recetas y archivos originales para procesar o reprocesar.
- Análisis estadístico
- Visualización estandarizada de los resultados de mapeo en paneles de obleas y vidrio semiconductores
- Autoenfoque y funciones de reconocimiento de patrones.
- Protocolos de comunicación avanzados (RS232, TCP/IP)
