多层聚合物薄膜是由多种材料组合而成，且广泛应用于各类工业领域。针对这些多层膜的化学分析，对于支持生产流程、识别缺陷、进行失效分析、理解由粘合剂缺失或分布不均导致的分层问题以及逆向工程均至关重要。本研究借助显微共焦拉曼光谱仪，对两种多层薄膜进行了横截面分析及共焦深度剖析，以探究其化学成分。同时，还展示了 HORIBA LabSpec6 软件中的 Layers 应用程序，该应用在横截面分析及共焦深度剖析方面具备强大的数据分析功能，能够有效地提取样品信息，从而准确揭示多层膜的化学成分、厚度以及空间分布情况。