MicOS显微光谱仪将是一款高度集成、配置灵活多样的显微光谱测量系统。作为光致发光测量的理想仪器,MicOS可耦合针对各种材料的多波长激发光源。
HORIBA有多种光谱仪、样品室及其他附件可选,可根据需求提供定制化系统,并且能够在同一系统中进行宏观和微观光致发光测量!我们成像光谱仪系统非常灵活,允许在单个光谱仪上存在两个独立的光路。
根据需求定制大光路光致发光测量系统。一个325 nm激光器通过自由光路耦合到样品室,样品室中包含低温恒温器。信号光通过iHR320成像光谱仪和Syncerity CCD进行检测。
MicOS显微光谱仪与低温恒温器联用,提供了一种在不同温度下测量微观样品的方法。当样品在低温环境中时,更多与结构相关的细节可能会在光谱中表现出来。它可用于确定半导体材料中的缺陷、杂质以及带隙。
使用HORIBA的光学元件和TCSPC附件可测量时间分辨光致发光光谱。使用DeltaDiode光源、PPD探测器和DeltaHub可以测量低至25 ps的寿命。
Photoluminescence and Raman Wafer Imaging
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