利用 X 射线荧光技术快速测量薄金属涂层的厚度

能量色散X射线荧光光谱（EDXRF ）分析的穿透特性使得多层样品能够通过单次测量完成表征。凭借高空间分辨率，即使是电路板上的键合垫等微观特征，也可对其成分和层厚进行分析。