应用领域：CMOS、电极、屏障

材料：石墨烯、过渡金属二硫化物、六方氮化硼（h-BN）

• 层厚度测量
• 均匀性评估：石墨烯晶体质量与应变波动的表征；载流子浓度、化学计量比及带隙的评估。
• 缺陷检测：缺陷密度（本征）的指示；污染物的可视化与识别。