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实验结果显示，拉曼光谱技术在检测苯并三唑时的检测限低于0.025%（质量百分比），而其定量限则低于0.10%（同样以质量百分比计）。这一性能表现，相较于 IC 和 HPLC 等传统方法，不仅在经济成本和时间效率上展现出显著优势，还大简化了操作流程。因此，拉曼光谱技术作为一种高效、经济的替代方案，为 CMP 抛光液成分的定量分析开辟了新的途径。
化学机械抛光（CMP）是半导体制造中的一个关键步骤。精确定量抛光液的成分能确保其效能并防止晶片受损。目前主流的定量技术，如离子色谱（IC）和高压液相色谱（HPLC）虽然具有很好的检测下限，却面临着操作复杂度高、成本昂贵以及对操作人员专业技能要求严格的挑战。本应用文档将使用更简单、灵活的拉曼光谱技术，用于定量 CMP 抛光液中的常见组分，如苯并三唑和甘氨酸。整个过程无需繁琐的样品预处理，亦无需耗资巨大的消耗品。结果表明，拉曼光谱对苯并三唑的检测和定量限分别小于 0.025% 和 0.10% (均为质量百分数）。因此，相对于 IC 和 HPLC 等成本较高、耗时较长的技术来说，拉曼光谱是一个理想的替代方法。