硅片中氧的定量分析

硅片中氧的浓度对硅片的电阻有很大影响。因此，即使硅片中仅含有极少量的氧，对其浓度的控制也是至关重要的。然而，在分析高掺杂单晶硅时出现了一个挑战。由于其独特的性质和高掺杂水平，分析这些样品中的氧变得更加困难，杂质和掺杂剂的存在会干扰使用FT-IR光谱法对氧浓度的精确测量。