微米级LED晶圆中导致良率缺陷的光谱表征与检测技术

新兴显示技术追求高亮度、低功耗和更长寿命。由自发光微米级LED（µLED）组成的阵列被视为替代当前OLED或LCD显示器的有力竞争者。据估计，到2028年，微米级LED（µLED）市场规模预计将达到210亿美元。汽车面板、智能手表、移动设备等对更明亮、更节能显示屏日益增长的需求，是推动该领域发展的部分因素。

尽管潜力巨大，µLED技术尚未完全实现商业化。这主要归因于生产过程中的成本和所面临的挑战。例如，智能手表或增强现实（AR）眼镜等可穿戴设备需要高分辨率或高像素密度。为实现高像素密度，µLED的尺寸需缩小至3微米或更小。在此尺度上，将芯片转移至晶圆并提高良率具有挑战性。低良率会急剧推高生产成本。