SMS

Standard Microscope Spectroscopy Systems (SMS)

标准显微光谱系统

无论是简单升级现有显微镜，还是获得一套开箱即用的全集成显微光谱系统，我们都能满足您的需求。SMS系列系统凭借其独特的配件组合，可将光谱仪与探测器适配于任何标准显微镜，从而实现以下多种光谱技术：

拉曼光谱
光致发光光谱
寿命光谱（时间分辨光致发光）
反射光谱
透射光谱
电致发光光谱
暗场散射光谱
光电流光谱

事业部: 先进材料与生命科学

产品分类: 定制光谱解决方案

SMS系统既可作为包含显微镜的完整套装提供，也可作为用户现有显微镜的升级模块。在升级模式下，SMS系统兼容各大主流显微镜品牌（如奥林巴斯®、尼康®、蔡司®及徕卡®）的正置显微镜。

特色技术

拉曼光谱
SMS系统提供高性能的显微拉曼光谱分析，其性能参数可与高端台式系统媲美，同时具备无可比拟的灵活性：

采用独特设计，配备锐利滤波截止技术，可有效检测低波数拉曼信号（保证优于80 cm⁻¹）
支持图谱扫描等高级功能

光致发光光谱

SMS系统在设计上主要采用反射式光路，其激发波长范围（266 nm – 1064 nm）与发射波长范围（250 nm – 2200 nm）均十分宽广。
可在同一系统上集成多种技术，如基于滤光片的荧光成像与完整的高光谱光致发光成像
支持最大300 mm晶圆的图谱扫描

时间分辨光致发光（寿命分析）

通过选配时间相关单光子计数模块，可为任意SMS系统增加时间分辨光致发光（寿命点测与成像）功能。时域分析能有效排除浓度变化与光漂白现象的干扰，并可揭示载流子动力学（如光伏领域）及半导体缺陷等随时间演变的微观过程。

该TCSPC模块以业内领先的100 MHz真频系统运行，采集速度极快，仅需数毫秒即可完成衰减曲线测定，从而实现动态寿命测量。用户可从我们当前超过70款紧凑型脉冲光源（持续扩充中）的目录中自由选配。

SMS-FLIM演示视频

反射与透射光谱

可在紫外至近红外波段实现宽光谱范围的反射率与透射率测量，并保持高空间分辨率。

电致发光与光电流测量

得益于开放式显微框架设计，SMS系统可集成微型探针，实现对LED、光伏材料及其他半导体材料的电致发光测量。

暗场散射纳米光谱技术

结合显微镜的暗场功能，SMS系统可进行纳米级光谱分析。通过暗场模式下的光散射光谱测量，实现对纳米材料的特性表征。

拉曼光谱技术参数

光谱仪与探测器
光谱仪		MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源		532 nm, 633 nm, 785 nm
光谱范围（波数）——自由空间		80 – 9500 (532 nm), 80 – 6500 (633 nm), 80 – 3400 (785 nm)
光谱范围（波数）——光纤耦合		150 – 9500 (532 nm), 150 – 6500 (633 nm), 150 – 3400 (785 nm)
推荐光栅		1800 g/mm, 1200 g/mm, 600 g/mm
光谱分辨率¹（波数/像素）	405 nm	5.12		2.34		1.37
	532 nm	2.53		1.22		0.73
	633 nm	1.54		0.78		0.48
	785 nm	0.70		0.40		0.26
显微镜
显微物镜		放大倍率	10X		50X		100X
		光斑尺寸（光纤耦合）	< 50 μm		< 12 μm		< 6 μm
		光斑尺寸（自由空间耦合）	< 10 μm		< 5 μm		< 2 μm
样品台		XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格：75 x 50 mm；100 x 100 mm；150 x 150 mm；300 x 300 mm
成像相机		软件控制的成像相机（标配）

¹ 基于1800线/毫米光栅与26微米像素CCD

光致发光光谱技术规格

光谱仪和探测器
光谱仪	MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源¹	266 nm, 325 nm, 405 nm, 532 nm, 633 nm, 785 nm, 980 nm, 1064 nm
光谱范围 (nm)²	250 nm – 2200 nm
推荐光栅³	1800 g/mm, 600 g/mm, 300 g/mm
光谱分辨率⁴ (nm)	0.39		0.18		0.1
显微镜
显微物镜⁵	放大倍率	10X		50X		100X
	光斑尺寸（光纤耦合）	< 50 μm		< 12 μm		< 6 μm
	光斑尺寸（自由空间耦合）	< 10 μm		< 5 μm		< 2 μm
样品台	XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格：75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm; 300 x 300 mm
成像相机	软件控制的成像相机（标配）

¹其他激光波长可按需提供

²扩展至中红外波段（按需提供）

³其他光栅可按需提供

⁴基于1200线/毫米光栅（500nm处）及26微米像素CCD

⁵若在紫外波段工作或使用覆盖宽光谱范围的多光源，建议选用反射式物镜

时间分辨光致发光（寿命）技术规格

光谱仪和探测器
光谱仪	MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源	可选脉冲光源覆盖波长范围：260 nm 至 1060 nm
	可调谐脉冲白光激光器（波长范围：400 nm 起）
光谱范围 (nm)	250 nm – 1700 nm
推荐光栅¹	1200 g/mm, 600 g/mm, 300 g/mm
光谱分辨率 ² (nm)	0.39		0.18		0.1
可测寿命范围³	25皮秒至秒
显微镜
显微物镜⁴	放大倍率	10X		50X		100X
	光斑尺寸（光纤耦合）	< 50 μm		< 12 μm		< 6 μm
	光斑尺寸（自由空间耦合）	< 10 μm		< 5 μm		< 2 μm
样品台	XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格：75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm; 300 x 300 mm
成像相机	软件控制的成像相机（标配）
附加软件⁵	EzTime（若进行荧光寿命成像，则为 EzTime Image ）

¹其他规格光栅可按需提供

²基于1200线/毫米光栅（500nm处）及26微米像素CCD

³适用于25皮秒以下寿命测试的电子模块与探测器可按需提供

⁴若在紫外波段工作或使用覆盖宽光谱范围的多光源，建议选用反射式物镜

⁵EzTime与EzTime Image均可与LabSpec 6软件安装在同一计算机上

反射率与透射率测量技术规格

光谱仪和探测器
光谱仪	MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源	氙灯光源 (200 nm – 2200 nm)
	卤钨灯光源 ( > 350 nm)
	超连续谱激光器( > 400 nm)
光谱范围(nm)¹	250 nm – 2200 nm
推荐光栅²	1200 g/mm, 600 g/mm, 15 0 g/mm
光谱分辨率³ (nm)	0.39		0.18		0.1
显微镜
显微物镜⁴	放大倍率	10X		50X		100X
	光斑尺寸（光纤耦合）	< 50 μm		< 12 μm		< 6 μm
	光斑尺寸（自由空间耦合）	< 10 μm		< 6 μm		< 2 μm
样品台	XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格： 75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm; 300 x 300 mm
成像相机	软件控制的成像相机（标配）

¹ 可扩展至中红外波段（按需提供）
² 其他规格光栅可按需提供
³ 基于1200线/毫米光栅（500nm处）及26微米像素CCD
⁴ 若在紫外波段工作或使用覆盖宽光谱范围的多光源，建议选用反射式物镜

电致发光技术规格

光谱仪及探测器
光谱仪	MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源¹	吉时利源表(2400 系列)
光谱范围(nm)	250 nm – 14 μm
推荐光栅²	1200 g/mm, 600 g/mm, 150 g/mm
光谱分辨率³ (nm)	0.39		0.18		0.1
显微镜
显微物镜⁴	放大倍率	10X		50X		100X
样品台	XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格： 75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm
成像相机	软件控制的成像相机（标配）

¹其他电流/电压源可按需提供

²其他规格光栅可按需提供

³基于1200线/毫米光栅（500nm处）及26微米像素CCD

⁴若在紫外波段工作或需使用覆盖宽光谱范围的多光源，建议选用反射式物镜

光电流谱技术规格

光谱仪及探测器
光谱仪	MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源	激光器：266 nm – 1064 nm
	氙灯光源（200 nm – 2200 nm）– 可配备可调谐选项
	卤钨灯光源（＞350 nm）——可配备可调谐选项
	超连续谱激光器（＞400 nm）——可配备可调谐选项
光电流测量¹	吉时利源表（2400系列）
推荐光栅²	1200 g/mm, 600 g/mm, 150 g/mm
光谱分辨率³ (nm)	0.39		0.18		0.1
显微镜
显微物镜⁴	放大倍率	10X		50X		100X
样品台	XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格：75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm; 300 x 300 mm
成像相机	软件控制的成像相机（标配）

¹可扩展至中红外波段（按需提供）
²其他规格光栅可按需提供
³基于1200线/毫米光栅（500nm处）及26微米像素CCD
⁴若在紫外波段工作或使用覆盖宽光谱范围的多光源，可能建议选用其他类型物

暗场散射光谱技术规格

光谱仪及探测器
光谱仪	MicroHR		iHR320		iHR550
激发光源	氙灯光源（200 nm – 2200 nm）
	卤钨灯光源（＞350 nm）
	超连续谱激光器（＞400 nm）
光谱范围(nm)¹	200 nm – 2200 nm
推荐光栅²	1200 g/mm, 600 g/mm, 150 g/mm
光谱分辨率³ (nm)	0.39		0.18		0.1
显微镜
显微物镜⁴	放大倍率	10X		50X		100X
样品台	XYZ移动范围（支持手动/电动选配）可选行程规格：75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm; 300 x 300 mm
成像相机	软件控制的成像相机（标配）

¹ 可扩展至中红外波段（按需提供）
² 其他规格光栅可按需提供
³ 基于1200线/毫米光栅（500nm处）及26微米像素CCD
⁴ 其他类型物镜可按需提供

Multimodal Characterization of Perovskite Materials Using the HORIBA SMS-320 System: Integrating Raman, PL, and TRPL Spectroscopies

The challenges of developing stable perovskite material and fabrication processes for commercial use require the use of several spectroscopic techniques such as Raman, Photoluminescence (PL), and Time-resolved photoluminescence (TRPL), etc. to characterize and optimize the material design and fabrication processes.

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Spectroscopic characterization and detection of yield-killing defects in micro-LED wafers

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Micro-Photoluminescence Mapping and Identification of Yield-Killing Defects in 4H-SiC

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