Micro-LED 表征

Micro-LED 代表了显示技术的范式转变，提供无与伦比的亮度、对比度和能效。我们理解这些微型光源的复杂精密性，我们的先进分析工具提供了表征和优化其性能所需的精确度。

我们的解决方案深入探索 Micro-LED 技术的核心，能够实现：

• 成分分析：通过拉曼光谱等技术，精确测定 LED 结构中的化学成分及其均匀性。
• 光学特性分析： 利用光致发光（PL）光谱技术详细分析发光特性，包括波长、强度和效率。
• 纳米颗粒追踪： 表征用于 Micro-LED 制造的量子点或其他纳米粒子的尺寸及分布，确保最佳发光性能。
• 缺陷检测： 识别并量化可能影响器件性能和寿命的缺陷与杂质。
• 表面分析：检测 Micro-LED 层的表面形貌与粗糙度，这对优化光提取效率和器件可靠性至关重要。

通过提供全面的分析解决方案，我们赋能研究人员和制造商突破 micro-LED 技术的边界，推动显示屏、照明及其他领域的创新。

Micro-LED 是一种革命性的显示技术，它利用微型发光二极管阵列来生成图像。与依赖背光的传统 LCD 或使用有机材料的 OLED 不同，Micro-LED 具有自发光特性，这意味着每个 LED 像素都能自主发光。

Micro-LED 的关键特性包括：

• 微型尺寸：这些 LED 极其微小，通常以微米（µm）为单位计量，可实现极高的像素密度和超精细的图像分辨率。
• 高亮度与对比度：Micro-LED 具备卓越的亮度和对比度表现，即使在强光环境下也能呈现鲜艳逼真的画面效果。
• 节能高效：相较于其他显示技术，Micro-LED 具有显著的能效优势，可延长便携设备的电池续航，并大幅降低大尺寸显示屏的能耗。
• 耐用与长寿命：Micro-LED 采用无机材料制造，具备极高的耐用性和抗老化特性，可显著延长设备使用寿命。
• 快速响应时间：Micro-LED 拥有极快的响应速度，能彻底消除动态模糊现象，实现流畅的视频播放和沉浸式虚拟现实体验。
• 多功能性：Micro-LED 可在柔性基底上制造，从而实现曲面和可折叠显示器的开发。

这些独特性能使 Micro-LED 成为适用于广泛领域的前沿技术，包括：

• 智能手表与智能手机
• 增强现实(AR)与虚拟现实(VR)头显设备
• 大尺寸显示器和电视机
• 汽车显示屏
• 先进照明解决方案

微型发光二极管晶圆中导致良率下降缺陷的光谱表征与检测

新兴显示技术需要具备高亮度、低功耗和更长寿命的特点。由自发光微米级 LED（Micro-LED 或 µLED）组成的阵列被视为替代当前 OLED 或 LCD 显示屏的有力竞争者。据估算，到 2028 年 Micro-LED（µLED）市场规模将达到 210 亿美元。汽车面板、智能手表、移动设备等领域对更高亮度且更节能的显示需求增长，是推动该细分市场发展的部分因素。

尽管 µLED 技术潜力巨大，但目前尚未完全实现商业化。这主要归因于生产成本及制造工艺面临的挑战。以智能手表、增强现实（AR）眼镜等可穿戴设备为例，其要求显示屏具备高分辨率或高像素密度。为实现高像素密度，µLED 尺寸需缩小至 3 微米甚至更小。在此尺度下，芯片转移至晶圆的工艺难度激增，良率提升面临严峻挑战。而低良率会直接导致生产成本大幅攀升。

凭借其独特的配件组合， SMS 系列系统可将任何标准显微镜配备光谱仪和探测器，从而支持以下技术实现：

• 拉曼
• 光致发光
• 寿命（时间分辨光致发光）
• 反射率
• 透射率
• 电致发光
• 暗场散射光谱
• 光电流