Opciones y accesorios del ellipsómetro espectroscópico
Existe una amplia gama de opciones y accesorios disponibles para los Ellipsómetros Espectroscópicos de HORIBA, con el fin de mejorar y ampliar el rendimiento y la versatilidad de los instrumentos. El diseño modular de nuestros elipsómetros espectroscópicos permite que el instrumento se actualice fácilmente durante su vida útil para adaptarse mejor a los requisitos cambiantes de la aplicación.
Opciones | |
Etapa motorizada XY | Etapa motorizada XY para mapeo de uniformidad de películas finas |
| La etapa motorizada XY proporciona movimiento automatizado de la etapa para el mapeo de muestras. Características adicionales como la monitorización por cámara CCD combinada con la óptica microspot integrada ofrecen la solución ideal para la caracterización precisa de obleas con patrones. |
Goniómetro automático | Goniómetro automático para variar el ángulo de incidencia |
| El goniómetro automático proporciona mediciones automáticas de ángulos variables. El propósito de la adquisición de múltiples ángulos es aumentar la cantidad de datos disponibles para caracterizar un material. Además, cada material presenta un ángulo de Brewster que proporciona más sensibilidad que los demás. |
Goniómetro integrado compacto | Goniómetro integrado compacto para solución rentable |
| El goniómetro compacto integrado ofrece una solución rentable para UVISEL de mesa y para elipsómeros espectroscópicos UVISEL de laboratorio. Esta configuración es conveniente para la mayoría de las aplicaciones de películas finas.
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Accesorios | |
Etapa controlada por temperatura | Etapa con control de temperatura para estudiar cómo cambian las propiedades de la película con la temperatura |
| La etapa controlada por temperatura permite la caracterización de muestras en un rango de temperaturas (desde -196°C hasta 350°C y desde temperatura ambiente hasta 600°C) para la investigación de nuevas propiedades de materiales (análisis de transición térmica para polímeros, estructura de bandas para aleaciones compuestas). |
Celda electroquímica | Célula electroquímica para estudiar procesos electroquímicos |
| La celda electroquímica ha sido diseñada por HORIBA para el estudio de procesos electroquímicos utilizando elipsómero espectroscópico UVISEL. El acceso óptico a la muestra se realiza mediante 3 ventanas de sílice fusionada. Dos de las ventanas están montadas a 70º respecto a lo normal para acceder a la elipsometría, y el tercer puerto permite al usuario observar la muestra dentro de la celda. El cuerpo celular que entra en contacto con la muestra está fabricado de PVC, y el soporte de la muestra está fabricado de PTFE para evitar cualquier interacción con el medio. El volumen de la celda es de 43 ml y consta de un electrodo de referencia Ag/AgCl y un electrodo contador de platino. Los contactos eléctricos se proporcionan mediante pasadores robustos y de alta integridad. |
Celda líquida | Celda líquida para experimentos sólidos y sólidos/líquidos |
| La celda líquida está diseñada para facilitar la instalación y limpieza de cualquier experimento líquido y sólido/líquido utilizando elipsómetros espectroscópicos HORIBA. La celda líquida consiste en una cubetas de 30 mm (L) x 30 mm (Ancho) x 13 mm (H) hecha de acero inoxidable, con polímero PEEK. Consta de dos ventanas de sílice UV fusionadas montadas a 70° que permiten que la luz pase para la investigación de interfaces sólido/líquido. Soporta muestras de hasta 4 mm de grosor y requiere 12 ml de líquido para experimentos sólido/líquido. La elección de materiales y el diseño de la célula permiten un desmontaje completo para que la célula pueda limpiarse a fondo, eliminando la contaminación cruzada cuando se utiliza para diferentes experimentos. |
Celda sellada | Celda sellada para la caracterización de películas delgadas bajo condiciones ambientales no atmosféricas |
| La Celda Sellada ha sido diseñada para la caracterización elipsométrica de materiales sensibles al aire o a la humedad, o para experimentos que estudian el efecto de vapores/gases sobre las capas de material. |
Criostato | Criostato para mantener bajas temperaturas criogénicas |
Hay una opción de criostato disponible bajo solicitud, por favor contacte directamente con nosotros para más información. | |
Etapas de rotación o θ | Etapa de rotación para estudiar muestras anisotrópicas |
| La etapa de rotación o θ permite la rotación automatizada de 360° de la muestra, y es útil para la caracterización de muestras anisotrópicas complejas y cristales líquidos.
Presupuesto
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Etapa de muestra inclinada | Etapa de muestra inclinada para la medición de muestras fotovoltaicas |
| La etapa de muestra inclinada integra un portamuestras de 160 mm x 160 mm con mandril de vacío. El ajuste de inclinación desde la posición horizontal hasta 90° es ideal para optimizar la recogida de señales de muestras fotovoltaicas de silicio texturizadas, y la altura de la etapa se regula manualmente para permitir medir muestras de hasta 10 mm de grosor. La etapa también permite mediciones de transmisión. |
Pila de transmisión | Celda de TTransmission para la medición de transmisión de muestras y transmisión elipsométrica a 70° |
| El portamuestras inclinado permite mediciones de transmisión a 70° de muestras pequeñas de 10 mm a 50 mm de diámetro y encaja directamente en la etapa estándar de muestra usada para HORIBA elipsómetros.
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Sustrate flexible | Sustrate flexible para un montaje cómodo de sustratos flexibles |
| El soporte flexible permite el montaje rápido de muestras flexibles en anillos dobles para la medición elipsométrica. Existen dos diámetros: 20 y 50 mm. |
