UVISEL Plus
Ellipsómetro espectroscópico de FUV a NIR: 190 a 2100 nm
El ellipsómetro de referencia para mediciones de películas finas
El elipsómetro UVISEL Plus ofrece la mejor combinación de modularidad y rendimiento para caracterizar películas delgadas avanzadas, superficies e interfaces.
El nuevo UVISEL Plus incluye la tecnología de adquisición más reciente diseñada para medir más rápido y con mayor precisión que nunca. FastAcq, la tecnología de adquisición más reciente, se basa en doble modulación, diseñada para la caracterización real de películas delgadas. Basada en un nuevo monocromador electrónico, de procesamiento de datos y alta velocidad, la nueva tecnología FastAcq permite completar una medición de muestra de 190 a 2100 nm en 3 minutos, con alta resolución.
Basado en tecnología de modulación de fase, el elipsómetro de UVISEL Plus proporciona un diseño óptico potente para cubrir continuamente el rango espectral desde 190 hasta 2100 nm. Se entregan datos de alta calidad a lo largo de todo el espectro en términos de alta precisión, mediciones de alta resolución y excelente relación señal-ruido.
La tecnología de modulación de fase caracteriza los cambios de polarización a altas frecuencias (50 kHz) y sin ningún movimiento mecánico. Resulta en:
- Mediciones de alta precisión para todos los valores de (Ψ,Δ)
- Excelente relación señal/ruido del FUV al NIR
- Velocidad de adquisición de datos muy rápida, de hasta 50 ms/punto, ideal para estudios cinéticos y mediciones in situ en tiempo real
El elipsómetro modulado en UVISEL Plus de fase alcanza mayor sensibilidad y precisión para caracterizar películas delgadas en comparación con los elipsómetros convencionales que utilizan elementos rotatorios. Permite la detección de películas muy finas o interfaces que ningún otro elipsómetro puede detectar, así como la caracterización de capas gruesas de hasta 50μm. La medición y caracterización de muestras transparentes con reflejos en la parte trasera es sencilla y precisa y no requiere el arañazo en la parte trasera.
Diseñado para mayor flexibilidad en mediciones de película fina, el UVISEL Plus ofrece microspots para muestras con patrones, ángulo variable, etapa de mapeo automático y una variedad de accesorios, lo que lo hace escalable para satisfacer todas tus necesidades de aplicación y presupuesto.
El diseño modular del UVISEL Plus permite su uso tanto como herramienta de metrología de mesa como para integración in situ en cámaras de proceso. o máquinas roll to roll.
El UVISEL Plus se controla mediante la plataforma de software DeltaPsi2 o la interfaz Auto-Soft, que son comunes a todos los elipsómetros de HORIBA. DeltaPsi2 ofrece un paquete completo de medición y modelado que permite abordar tanto aplicaciones rutinarias como avanzadas de película fina, mientras que la interfaz Auto-Soft cuenta con un flujo de trabajo intuitivo para acelerar la recogida y el análisis de datos.
El UVISEL Plus y su tecnología FastAcq son el elipsómetro espectroscópico más versátil para mediciones de grosor de película fina y constantes ópticas en los campos de la investigación y procesamiento de materiales, pantallas planas, microelectrónica y fotovoltaica.
El UVISEL Plus se considera un elipsómetro de referencia para la ciencia de materiales definitiva.
