特殊高圧ガス

特殊高圧ガスには、7種のガスが定められています。
(モノシラン、ジシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラン、モノゲルマン、セレン化水素)
高圧ガス保安法では、ガスを使用する所在地の都道府県関係部署に、許可や届出の確認を行ったうえでガスの消費(使用)を開始するように取り決められています。

主なガスの紹介

アルシン(AsH3) ジシラン(Si2H6) ジボラン(B2H6) セレン化水素(H2Se) ホスフィン(PH3) モノゲルマン(GeH4) モノシラン(SiH4)

推奨モデル

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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株式会社堀場エステック
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