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ガス種・流量レンジの変更ができる機能を搭載したモデル
ワイドな流量制御範囲、選べる通信方式を持つ汎用モデル
微細加工プロセスおける小流量域の制御に特化した高性能モデル
独創的で高度な流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載した高性能モデル
100msecの高速応答と低流量での高精度を実現した高性能モデル
ワイドレンジ制御と低流量での高精度を実現した高性能モデル
10mm幅の最先端プロセス向け高性能モデル
差圧検出方式を採用した最先端プロセス向け高性能モデル
PI 性能を搭載した高性能モデル
精度、再現性、応答性能、パーティクルレスを備えた高性能モデル
サーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載した高精度なモデル
MEMS技術を用いた小型流量センサを採用したコンパクトモデル
生産設備から各種実験・評価システムに最適なエコノミーモデル
高温環境（120℃）までの環境で使用できる高温対応モデル
悪環境下でも使用可能な防塵・防滴対応モデル
プロセスガスを任意の比率に分配するフロースプリッター
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駆動電源不要の手のひらサイズモデル
流量レンジ：1SCCM～500SLM
流量レンジ：10SCCM～1000SLM
流量レンジ：5SCCM～150SLM
流量レンジ：10SCCM～200SLM
流量レンジ：500ｍL/min～100L/min
流量レンジ：25ｍL/min～450L/min
流量レンジ：500ｍL/min～1000L/min
流量レンジ：50ｍL/min～450L/min
希望販売価格(税抜)：¥80,000～
希望販売価格(税抜)：¥98,500～
希望販売価格(税抜)：¥99,500～
希望販売価格(税抜)：¥102,000～
希望販売価格(税抜)：¥218,000～
希望販売価格(税抜)：¥380,000～
希望販売価格(税抜)：¥384,000～
希望販売価格(税抜)：¥470,000～
希望販売価格(税抜)：¥50,000～
希望販売価格(税抜)：¥92,000～
希望販売価格(税抜)：¥143,000～
希望販売価格(税抜)：¥147,000～
希望販売価格(税抜)：¥150,000～
希望販売価格(税抜)：¥184,000～
希望販売価格(税抜)：¥265,000～
ご使用の条件に応じたアクセサリをご用意しています。
