SEF-E Series

大流量・エコノミーマスフローメータ

生産性向上の要因として、製造設備の高性能化や小型化・ローコスト化等が着目されています。これらの要求はガス供給系、とりわけキーデバイスと称されるマスフローコントローラへの要求へ繋がります。SEC-E Seriesは各種バーナーガスの流量計測、パージガスの流量計測、実験ガスでのガス流量計測、自動化が要求される流量計測設備、消費流量の積算量を把握したい設備など、様々なプロセスに魅力あるコストで対応しています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

  • 広範囲な流量計測に対応:同一シリーズで0.2SCCMから500SLM(N2)までの流量計測に対応

  • 幅広いご用途に対応:一般産業市場において多数の納入実績を誇っています。

  • ローコスト:コストメリットを追求したモデルをラインアップ:
    SEF-E40/SEF-E50

 

 

 

SEF-E Series 仕様一覧

 

外形寸法図・他(単位:mm)

Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories
Gas Mass Flow Control and Measurement in Research and Testing Laboratories

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