バルク供給（液化ガス貯蔵）

半導体工場で使用される高純度O₂、N₂などバルクガス中の不純物管理は運営の中でも製品品質管理の観点から大変重要です。
液化ガスタンクのみならず、空気分離装置からの高純度ガスの微量不純物管理（CO, CO₂, CH₄）には超高感度・高精度に連続測定が可能なHORIBA製品が活用されています。