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チャンバ間のばらつきを抑え、エッチング装置の歩留まりを最適化するために、様々な流体制御モジュールと終点検出およびプラズマ監視用のスマートセンサを提供しています。コンパクトでロバスト性も高いため、研究開発や量産工場にもお使いいただけます。
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