ガス・液体供給

半導体製造工場では高品質ガスや薬液を安全・安定的に供給することが必要です。
特にCVD・Diffのような半導体製造工程では多くの成膜材料が大量に使用されます。（TEOS、TiCl4、TEB、HCDS、TMA、等）
バルクタンクとプロセスタンクを用いた、液残量を管理しながら連続供給を可能にすることで、半導体工場の安定稼働に貢献します。