除害設備付き排気ダクト

半導体製造工場屋上の排ガス処理設備では、燃焼式、湿式、乾式、触媒式と様々な方式の除害設備があります。排ガス処理装置（スクラバー）の役割は非常に重要とされております。
またGWP係数が高い温室効果ガス（CF₄やSF₆などのPFCガス）を効率よく除去すること、更にモニタリングを確立することが求められています。除害装置からスクラバーへ、そして大気開放までのPFCガスのモニタリングソリューション、そして塩化水素やフッ素、アンモニア等の監視・検出強化に貢献します。