自家発電設備

半導体工場には太陽光発電や燃料電池のみならず、まだ天然ガス・都市ガスによる燃焼式の自家発電設備が残っています。自主管理用途に、また将来カーボンキャプチャー設備と共に活用される可能性があります。ここにもHORIBA製品が活躍しています。