超純水プラント

半導体デバイスやフラットパネルディスプレイなどの生産での洗浄工程では、製品への不純物の残留をなくすために限りなく純度の高い水を使用する必要があります。用水を純水へ、純水を超純水へと磨き上げる工程では、そのプロセスの管理のために各種の水質計が必要です。また、ユースポイントで実際に生産工程で使用するためには、水の純度の確認は欠かせません。その極限での純度を確認するために高精度で安定して測定できる水質計が必要です。

ppbレベルのシリカ濃度管理や、18.20 MΩ・cm以上の領域の安定した電気比抵抗率の測定など超純水管理に必要な水質計を提供しています。