自動ウェハ検査装置

HORIBAは自社の分析・計測技術と全自動測定技術を融合させ、自動搬送と、マッピングイメージ化が可能な計測システムを開発しました。
このシステムにより、様々なウェハに関する膜厚・結晶化率・欠陥・異物検出といった重要なパラメーターをタイムリーに提供します。