CS-900F

光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター

洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液を“非接触”で連続測定します。
薬液に触れない測定により、薬液漏れやコンタミネーションリスクを低減します。光ファイバーケーブルの導入により小型化を実現しつつ、振動などの外乱影響を低減し高い測定精度を維持。安全性と安定性を両立し、製造プロセスの最適化に貢献します。
※当社従来製品との比較。

 

薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-232C高温測定非接触複数成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

小型化かつ安定測定を両立

光ファイバーケーブルの導入により、装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60%削減し、省スペース化を実現しました。さらに、振動などの外乱影響を低減することで、測定の安定性を高めています。

測定可能な薬液の種類を拡充

最高80℃までの高温薬液を含めた幅広い薬液の測定が可能です。さらに、波長域を従来比約3倍に拡張することで、対応可能な薬液の種類を拡充しました。
標準的なSC-1だけでなく、複雑かつ危険な薬液を使用するプロセスにおいても、前処理を必要とせず高温薬液を直接測定できます。

非接触測定で安全性とプロセス最適化に寄与

配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーションリスクを低減。安全な作業性や薬液使用量の削減に貢献します。

※ 当社従来製品との比較。使用方法や条件によって効果が異なる場合があります。

 

製品名 光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター
型式 CS-900F
測定原理 吸収分光法
濃度算出手法 温度補償型多変量解析法
測定範囲・再現性精度
(単位:mass%)
型式 成分名 測定範囲 再現性精度 アナログ出力範囲
CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA NH3 0.00 - 1.20 ±0.05 0.00 - 10.00
H2O2 0.00 - 5.50 ±0.10 0.00 - 10.00
H2O 93.3 - 100.0 ±1.0
CS-900F-1-1-1P-P8P8-11 NH3 0.00 – 0.80 ±0.03 0.00 - 1.00
H2O2 0.00 – 0.80 ±0.03 0.00 - 1.00
H2O 98.4 – 100.0 ±0.2
測定条件 1) 測定周期 : 約 5 秒
2) 移動平均 : 16 回
配管 PFA配管 1インチまたは3/4インチ (静電防止タイプは黒色部を避けること)
注記: 配管表面にキズやへこみ、くもりのないこと。
サンプル条件 薬液温度 : 20 ~ 80 ℃
薬液温度変化、周囲温度変化 ± 1 ℃以内(1時間)
入力圧力 0.2 MPa(G)以下
圧力変化 0.02 MPa以下
注記: サンプルが流れていない状態では気泡影響で正しく測定できない場合があります。
電源 DC24 V
消費電力 約40 W
質量 メインユニット 約5.8 kg
セルユニット 約1.4 kg
外形寸法 メインユニット 217(W)X290(D)X173(H)mm (突起部除く)
セルユニット 186(W)X142(D)X 83(H)mm (突起部除く)
メインユニット設置角度 ±1°以内
光源寿命 5年保証
光ファイバー 標準長さ5 m、最小曲げ半径150 mm

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