SF-U Series

高精度精密膜流量計

高精度精密膜流量計は、ガラス体積管に石鹸膜ディテクタを組み合わせ、各種ガスの流量を精密に測定するものです。ガラス体積管内(既知体積)を石鹸膜が移動する時間を測定し、その時の大気圧、気温等の値からガスの流量を算出します。測定するガスの流量により4種類のガラス体積管ユニット(VP-U Series)を取り揃えています。SF-2Uは本体内部に大気圧センサーを内蔵しているので大気圧の入力が不要です。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Fluid Control System

製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

販売対象地域:
日本
詳細.

高精度：±0.5%、±1.0% 精度の流量測定が可能。
ガラス体積管内を移動する石鹸膜による流量測定。
LCD6桁デジタル表示による高精度を実現。
PCによる遠隔操作が可能。
通気量や漏れ量などの計測、各種気体流量計、制御機器の流量校正が可能。

高精度精密膜流量計 SF-1U・2U
表示	LDC6桁デジタル表示(測定流量・測定時間・温度・設定気圧等を切り替え表示)
自動計測機能	AUTOモードにより2〜10回の自動計測及び平均値計算を実行(前回記憶データの呼び出し可能電源OFFにて電源消去)
使用周囲速度	5〜40℃ 精度保証範囲(15〜30℃)
外部入出力	RS-232C 準拠
電源	ACアダプター(DC7Ｖ)駆動

体積管ユニット VP-1U
流量測定範囲	0.2〜10mL/min
精度	±0.5%(±1%)0.2〜2mL/min(2〜10mL/min)
対象ガス	N₂、Air、O₂、H₂、He、Ar、CO、CH₄、C₃H₈など注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可
使用周囲温度	5〜40℃　精度保証範囲(15℃〜35℃)
外部入出力	RS-232C　準拠

体積管ユニット VP-2U
流量測定範囲	2〜100mL/min
精度	±0.5%(±1%)2〜20mL/min(20〜100mL/min)
対象ガス	N₂、Air、O₂、H₂、He、Ar、CO、CH₄、C₃H₈など注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可
使用周囲温度	5〜40℃　精度保証範囲(15℃〜35℃)
外部入出力	RS-232C　準拠

体積管ユニット VP-3U
流量測定範囲	20〜1000mL/min
精度	±0.5%(±1%)20〜200mL/min(200〜1000mL/min)
対象ガス	N₂、Air、O₂、H₂、He、Ar、CO、CH₄、C₃H₈など注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可
使用周囲温度	5〜40℃　精度保証範囲(15℃〜35℃)
外部入出力	RS-232C　準拠

体積管ユニット VP-4U
流量測定範囲	0.2〜10 L/min
精度	±0.5%(±1%)0.2〜1 L/min(1〜10 L/min)
対象ガス	N₂、Air、O₂、H₂、He、Ar、CO、CH₄、C₃H₈など注)水溶性ガス・腐食性ガスは測定不可
使用周囲温度	5〜40℃　精度保証範囲(15℃〜35℃)
外部入出力	RS-232C　準拠