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光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター
洗浄やエッチングなど半導体製造工程で使用される薬液を“非接触”で連続測定します。 薬液に触れない測定により、薬液漏れやコンタミネーションリスクを低減します。光ファイバーケーブルの導入により小型化※を実現しつつ、振動などの外乱影響を低減し高い測定精度を維持。安全性と安定性を両立し、製造プロセスの最適化に貢献します。 ※当社従来製品との比較。
小型化かつ安定測定を両立光ファイバーケーブルの導入により、装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60%※削減し、省スペース化を実現しました。さらに、振動などの外乱影響を低減することで、測定の安定性を高めています。
光ファイバーケーブルの導入により、装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60%※削減し、省スペース化を実現しました。さらに、振動などの外乱影響を低減することで、測定の安定性を高めています。
測定可能な薬液の種類を拡充最高80℃までの高温薬液を含めた幅広い薬液の測定が可能です。さらに、波長域を従来比約3倍※に拡張することで、対応可能な薬液の種類を拡充しました。 標準的なSC-1だけでなく、複雑かつ危険な薬液を使用するプロセスにおいても、前処理を必要とせず高温薬液を直接測定できます。
最高80℃までの高温薬液を含めた幅広い薬液の測定が可能です。さらに、波長域を従来比約3倍※に拡張することで、対応可能な薬液の種類を拡充しました。 標準的なSC-1だけでなく、複雑かつ危険な薬液を使用するプロセスにおいても、前処理を必要とせず高温薬液を直接測定できます。
非接触測定で安全性とプロセス最適化に寄与配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーションリスクを低減。安全な作業性や薬液使用量の削減に貢献します。
配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーションリスクを低減。安全な作業性や薬液使用量の削減に貢献します。
※ 当社従来製品との比較。使用方法や条件によって効果が異なる場合があります。
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