薄膜分析計

次世代デバイスの市場投入期間を最小化するための新素材開発、および生産ラインの歩留まり向上とウェハ間ばらつきの最小化に必要な検査工程において、薄膜特性評価は重要です。X線～深紫外～近赤外までの光学分光分析のリーディングカンパニーであるHORIBAは、研究開発、インライン、またはプロセスチャンバーへの統合可能な独自の薄膜分析技術を提供します。

主な利点：

• 4インチ、6インチ、8インチ、12インチのウェハサイズに対応
• 高速測定
• OEM統合のための高いカスタマイズ性
• グローバルなアプリケーションサポート