圧力制御機器

ガス供給システムの高性能化・コンパクト化へのご提案として、高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御機能を搭載したラインレギュレータや腐食性ガスに対応した排気圧コントローラなどをラインアップしています。

GR-500 Series
GR-500 Series

オートプレッシャレギュレータ

GR-300 Series
GR-300 Series

オートプレッシャーレギュレータ

UR-Z700 Series
UR-Z700 Series

オートプレッシャレギュレータ

PV Series
PV Series

ピエゾバルブ

EC Series
EC Series

排気圧コントローラ

構成例・用途例

HORIBAグループ企業情報