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μ-XRF 是一种无损分析技术，由于 X 射线的高穿透性，它可以检查样品内部的缺陷，甚至是不可见的缺陷。本应用介绍了使用 XGT-9000 检测电子设备上的离子迁移、空隙和异物等故障分析，主要特点是10 μm X射线头垂直照射以及荧光 X 射线和透射 X 射线的同时成像
Foreign matter (Sn) is found under the IC chip.
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微区X射线荧光分析仪
