用于VUV系统的氘灯

发射光谱低至115nm

DLS200是一个200W的氘灯,装有MgF2窗口,允许低至115 nm的真空紫外光发射。该灯耦合在反射式灯室,光束被聚焦在单色仪的入口狭缝上。

事业部: 科学仪器
制造商: HORIBA France SAS

应用:

  •     荧光激发
  •     透射/吸收光谱
  •     单色半导体曝光
  •     光刻
  •     高光子能量的光化学过程
光谱范围

115 – 350 nm

功率

200 W

窗口材料

MgF2

真空法兰

DN50KF

制冷方式水冷
灯直径

1 mm

工作发射角

14°

噪声优于0.1% @ 215 nm
漂移优于0.5% @ 250 nm
触发电压

500 V

灯寿命300小时(@1.8A)
升温时间

30 s

全长

255 mm

重量

0.9 kg

电源

已包含

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