CS-900F 光纤型非接触式化学药液浓度计

光纤型非接触式化学药液浓度计

用于半导体工艺化学药液的非接触、稳定浓度测量！

CS-900F 采用非接触式测量方法，只需将测量单元安装到管道上即可。这种方式有助于降低化学药液泄漏和污染的风险。

同时CS-900F还扩大了对湿法工艺化学药液的支持范围，作为 CS 系列的旗舰型号，进一步提升了稳定性和通用性。

事业部: 半导体

制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

紧凑设计，测量性能稳定
通过引入光纤电缆，将安装在客户设备内部的测量单元体积较以往机型减少约 60%*，在降低受外界干扰影响的同时实现稳定测量。

可测量湿法制程化学药液范围扩大
将波长范围扩展至约为以往型号的三倍*，支持更多种类的湿制程化学品。最高可直接测量 80°C 的高温化学溶液，无需预处理，有助于提高操作安全性。

通过非接触式测量实现安全与工艺优化
CS-900F 采用非接触式方法，仅需将测量单元安装在管道上，降低了化学品泄漏和污染的风险，有助于实现更安全的操作并减少化学药液的消耗。

* 与 HORIBA 之前型号的比较。实际结果可能因使用情况和条件而异。

产品名称		光纤型非接触式化学药液浓度计
型号		CS-900F
测量原理		吸收光谱法
计算		温度补偿多元分析
测量范围・重复性（单位：质量%）	型号	成分	可测范围	重复性	模拟输出范围
	CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA	NH₃	0.00 to 1.20	±0.05	0.00 to 10.00
		H₂O₂	0.00 to 5.50	±0.10	0.00 to 10.00
		H₂O	93.3 to 100.0	±1.0	ー
	CS-900F-1-1-1P-P8P8-11	NH₃	0.00 to 0.80	±0.03	0.00 to 1.00
		H₂O₂	0.00 to 0.80	±0.03	0.00 to 1.00
		H₂O	98.4 to 100.0	±0.2	ー
测量条件		1）测量间隔：约 5 秒 2）移动平均：16次
管道		PFA 管 1 英寸或 3/4 英寸（避免使用防静电型 PFA 管的黑色部分）注意：管道表面不得有划痕、凹痕或浑浊。
样品状况		样品温度：20 至 80 ℃ 大气温度、样品温度波动：±1 ℃（时间周期：1 小时）样品压力小于 0.2 MPa（G）样品压力波动：在 0.02 MPa 以内注意：样品药液中的气泡会影响测量，因此请使样品流动以防止气泡停留在 PFA 管中。
电源		24 V DC
功耗		约 40 W（不包括启动时的瞬态电流）
重量		主机 : 约 5.8 kg 测量单元 : 约 1.4 kg
尺寸		主机：217（宽）× 290（深）× 173（高）毫米（不含突出部分）测量单元：186（宽）× 142（深）× 83（高）毫米（不含突出部分）
安装倾斜角度		主机在±1°以内
光源预期寿命		5 年
光纤电缆		标准长度：5 m，弯曲半径：R150 mm

CS-900F